Procédé de Réalisation de Capteur à Microthermocouple de Débit Massique et Dispositif Associé (Brevet Européen avec extension aux ETATS UNIS avec la société QUALIFLOW-France)

Patent

A. Boyer and Alain Giani

1997

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Title: Procédé de Réalisation de Capteur à Microthermocouple de Débit Massique et Dispositif Associé (Brevet Européen avec extension aux ETATS UNIS avec la société QUALIFLOW-France)
Creators - without role: A. Boyer - Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de Montpellier
Alain Giani - Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de Montpellier
Publisher: France
Identifiers: 9944397209311
Academic Unit: Université de Montpellier
Language: English
Resource Type: Patent
Patent: 97403185.8
Local Fields: hal-02019641