PROCEDE ET DISPOSITIF DE CONTROLE D'UN COLLAGE ENTRE DEUX SUBSTRATS

Patent

Frank Fournel, Ali Dekious, Emilie Deloffre, Gilles Despaux, Vincent Larrey and Emmanuel Le Clézio

15/06/2018

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Title: PROCEDE ET DISPOSITIF DE CONTROLE D'UN COLLAGE ENTRE DEUX SUBSTRATS
Creators - without role: Frank Fournel
Ali Dekious - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Emilie Deloffre
Gilles Despaux - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Vincent Larrey
Emmanuel Le Clézio - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Publisher: France
Identifiers: 9937062309311
Academic Unit: Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Language: French
Resource Type: Patent
Patent: FR3060121
Local Fields: hal-02065696