- Title
- Méthode pour minimiser la consommation de précurseurs et la formation de particules dans les réacteurs ALD/CVD
- Creators - without role
- Matthieu Weber - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMP. Miele - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMMikhael Bechelany - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEM
- Publisher
- France
- Identifiers
- 9938244309311
- Academic Unit
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Language
- French
- Resource Type
- Patent
- Patent
- 19/08445
- Local Fields
- hal-04211999
Patent
Méthode pour minimiser la consommation de précurseurs et la formation de particules dans les réacteurs ALD/CVD
25/07/2019
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