- Title
- A MEMS calorimetric shear-stress sensor and a method of fabrication (Brevet d’application provisoire en co-propriété avec l'Ecole de Technologie Supérieure de Montréal et l’Université de Montpellier)
- Creators - without role
- J. WeissAlain Giani - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESP. Combette - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESBenoit Charlot - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Publisher
- France
- Identifiers
- 9943520509311
- Academic Unit
- Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Language
- English
- Resource Type
- Patent
- Patent
- 59553 (Attorney docket number : 6297P)
- Local Fields
- hal-02025392
Patent
A MEMS calorimetric shear-stress sensor and a method of fabrication (Brevet d’application provisoire en co-propriété avec l'Ecole de Technologie Supérieure de Montréal et l’Université de Montpellier)
2016
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