- Title
- Communication par Affiche : "PECVD silicon nitrides and oxides for gas permeation at low and intermediate temperatures"
- Creators - without role
- V. Rouessac - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMW. Kafrouni - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMA. Julbe - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMJ. Durand - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEM
- Identifiers
- 9944729809311
- Academic Unit
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Language
- English
- Resource Type
- Other
- Local Fields
- hal-00128780
Other
Communication par Affiche : "PECVD silicon nitrides and oxides for gas permeation at low and intermediate temperatures"
2006
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