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Communication Orale : "Des couches minces PECVD a-SiCxNy:H aux membranes permsélectives aux petites molécules gazeuses (H2 et He)"
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Communication Orale : "Des couches minces PECVD a-SiCxNy:H aux membranes permsélectives aux petites molécules gazeuses (H2 et He)"

W. Kafrouni, V. Rouessac, A. Julbe and J. Durand
2008
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