- Title
- XPS and XPS valence band characterizations of amorphous or polymeric silicon based thin films prepared by PACVD from organosilicon monomers
- Creators - without role
- R. Berjoan - Centre National de la Recherche ScientifiqueE. Biche - Science et Ingénierie des Matériaux et ProcédésD. Perarnau - Science et Ingénierie des Matériaux et ProcédésS. Roualdes - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMJ. Durand - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEM
- Publication Details
- Journal de Physique IV Proceedings, Vol.09(PR8), pp.Pr8-1059 - Pr8-1068
- Identifiers
- 9944281109311
- Academic Unit
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Language
- English
- Resource Type
- Journal article
- Local Fields
- hal-01737492
Journal article
XPS and XPS valence band characterizations of amorphous or polymeric silicon based thin films prepared by PACVD from organosilicon monomers
Journal de Physique IV Proceedings, Vol.09(PR8), pp.Pr8-1059 - Pr8-1068
09/1999
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