- Title
- Wet etching and chemical polishing of InAs/GaSb superlattice photodiodes
- Creators - without role
- C Chaghi - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESC. Cervera - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESH. Aït-Kaci - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESP. Grech - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESJ B Rodriguez - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESPhilippe Christol - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Publication Details
- Semiconductor Science and Technology, Vol.24(6)
- Identifiers
- 9946779009311
- Academic Unit
- Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Language
- English
- Resource Type
- Journal article
- Local Fields
- hal-01618130
Journal article
Wet etching and chemical polishing of InAs/GaSb superlattice photodiodes
Semiconductor Science and Technology, Vol.24(6)
10/06/2009
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