- Titre
- Thin film deposition of Ta, TaN and Ta/TaN bi-layer on Ti and SS316-LVM substrates by RF sputtering
- Créateurs - sans rôle
- A. Jara - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGMB. Fraisse - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGMV. Flaud - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGMN. Fréty - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGMG. Gonzalez - Instituto Venezolano de Investigaciones Científicas
- Détails de publication
- Surface and Coatings Technology
- Identifiants
- 99153347009311
- Unité académique
- Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Journal article
- Champs locaux
- hal-01494802
Article de revue
Thin film deposition of Ta, TaN and Ta/TaN bi-layer on Ti and SS316-LVM substrates by RF sputtering
Surface and Coatings Technology
27/10/2016
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