- Title
- Thermal stability of Pt/Cr and Pt/Cr2O3 thin-film layers on a SiNx/Si substrate for thermal sensor applications
- Creators - without role
- Alexandra Garraud - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESPhilippe Combette - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESAlain Giani - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Publication Details
- Thin Solid Films, Vol.540, pp.256-260
- Identifiers
- 9945106709311
- Academic Unit
- Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Language
- English
- Resource Type
- Journal article
- Local Fields
- hal-02051981
Journal article
Thermal stability of Pt/Cr and Pt/Cr2O3 thin-film layers on a SiNx/Si substrate for thermal sensor applications
Thin Solid Films, Vol.540, pp.256-260
07/2013
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