Tailoring the crystal growth of quartz on silicon for patterning epitaxial piezoelectric films

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Qianzhe Zhang, David Sánchez-Fuentes, Andrés Gómez, Rudy Desgarceaux, Benoit Charlot, Jaume Gazquez, Adrian Carretero-Genevrier and Marti Gich

Nanoscale Advances, Vol.1(9), pp.3741-3752

11/09/2019

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https://doi.org/10.1039/C9NA00388FView

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Title: Tailoring the crystal growth of quartz on silicon for patterning epitaxial piezoelectric films
Creators - without role: Qianzhe Zhang - Institut d'Électronique et des Systèmes
David Sánchez-Fuentes - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Andrés Gómez - Institut de Ciència de Materials de Barcelona
Rudy Desgarceaux - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Benoit Charlot - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Jaume Gazquez - Consejo Superior de Investigaciones Científicas
Adrian Carretero-Genevrier - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Marti Gich - Consejo Superior de Investigaciones Científicas
Publication Details: Nanoscale Advances, Vol.1(9), pp.3741-3752
Identifiers: 9947643809311
Academic Unit: Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Language: English
Resource Type: Journal article
Local Fields: hal-02290031