Study of the interaction between Heavy Ions and Integrated Circuits using a Pulsed Laser Beam

Article de revue

Avec comité de lecture

Dean Lewis, Pascal Fouillat, Vincent Pouget et Hervé Lapuyade

European physical journal. Applied physics, Vol.20(2), pp.151-158

01/11/2002

Résumé

Engineering Sciences

Micro and nanotechnologies

Microelectronics

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Titre: Study of the interaction between Heavy Ions and Integrated Circuits using a Pulsed Laser Beam
Créateurs - sans rôle: Dean Lewis - Laboratoire de l'Intégration du Matériau au Système
Pascal Fouillat - Laboratoire de l'Intégration du Matériau au Système
Vincent Pouget - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Hervé Lapuyade - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Détails de publication: European physical journal. Applied physics, Vol.20(2), pp.151-158
Éditeur: EDP Sciences
Identifiants: 99162638509311
Unité académique: Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Langue: English
Type de ressource: Journal article