- Titre
- "Study of solvent penetration inside a porous low k material by neutron reflectometry, influence of material surface and of solvent properties"
- Créateurs - sans rôle
- D. Rebiscoul - CEA GrenobleL. Broussous - STMicroelectronicsW. Puyrenier - STMicroelectronicsV. Rouessac - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMA. Ayral - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMR. Cubitt - Institut Laue-Langevin
- Détails de publication
- Microelectronic Engineering, Vol.85(10), pp.2089-2093
- Identifiants
- 99152259409311
- Unité académique
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Journal article
- Champs locaux
- hal-00359668
Article de revue
"Study of solvent penetration inside a porous low k material by neutron reflectometry, influence of material surface and of solvent properties"
Microelectronic Engineering, Vol.85(10), pp.2089-2093
2008
Indicateurs
1 Consultations de la notice