- Title
- Studies and optimization of the frequency response of a micromachined thermal accelerometer
- Creators - without role
- J. Courteaud - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESN. Crespy - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESP. Combette - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESB. Sorli - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESAlain Giani - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Publication Details
- Sensors and Actuators A: Physical , Vol.147(1), pp.75-82
- Identifiers
- 9945092209311
- Academic Unit
- Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Language
- English
- Resource Type
- Journal article
- Local Fields
- hal-02049189
Journal article
Studies and optimization of the frequency response of a micromachined thermal accelerometer
Sensors and Actuators A: Physical , Vol.147(1), pp.75-82
09/2008
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