- Title
- Soft‐Chemistry‐Assisted On‐Chip Integration of Nanostructured α‐Quartz Microelectromechanical System
- Creators - without role
- Claire Jolly - Institut d'Électronique et des SystèmesAndres Gomez - Institut de Ciència de Materials de BarcelonaDavid Sánchez‐fuentes - Institut d'Électronique et des SystèmesDilek CakirogluRaïssa Rathar - Centre National de la Recherche ScientifiqueNicolas Maurin - Institut d'Électronique et des SystèmesRicardo Garcia‐bermejo - Centre National de la Recherche ScientifiqueBenoit Charlot - Institut d'Électronique et des SystèmesMartí Gich - Consejo Superior de Investigaciones CientíficasMichael Bahriz - Université de MontpellierLaura Picas - Institut de Recherche en Infectiologie de MontpellierA. Carretero-Genevrier - Centre National de la Recherche Scientifique
- Publication Details
- Advanced Materials Technologies, Vol.6(3)
- Identifiers
- 9947535409311
- Academic Unit
- Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Language
- English
- Resource Type
- Journal article
- Local Fields
- hal-03436936
Journal article
Soft‐Chemistry‐Assisted On‐Chip Integration of Nanostructured α‐Quartz Microelectromechanical System
Advanced Materials Technologies, Vol.6(3)
25/01/2021
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