- Titre
- Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining
- Créateurs - sans rôle
- Muriel Dardalhon - Université de Montpellier, Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Mtp - LIRMMVincent Beroulle - Laboratoire d'Informatique, de Robotique et de Microélectronique de MontpellierLaurent Latorre - Laboratoire d'Informatique, de Robotique et de Microélectronique de MontpellierPascal Nouet - Laboratoire d'Informatique, de Robotique et de Microélectronique de MontpellierGuy Perez - Centre National d'Études SpatialesJean Mare Nicot - Centre National d'Études SpatialesCoumar Oudéa - Airbus
- Détails de publication
- Microelectronics Reliability, Vol.42(9-11), pp.1777-1782
- Identifiants
- 99150694109311
- Unité académique
- Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Mtp - LIRMM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Journal article
- Champs locaux
- lirmm-00268582
Article de revue
Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining
Microelectronics Reliability, Vol.42(9-11), pp.1777-1782
2002
Indicateurs
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