- Title
- Pyroelectric LiTaO3 thin films elaborated by RF magnetron sputtering on RuO2/SiNx
- Creators - without role
- P. Combette - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESL. Nougaret - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESB. Sorli - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESF. Pascal-Delannoy - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Publication Details
- Ferroelectrics, Vol.353, pp.233-241
- Identifiers
- 9947066609311
- Academic Unit
- Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Language
- English
- Resource Type
- Journal article
- Local Fields
- hal-00327160
Journal article
Pyroelectric LiTaO3 thin films elaborated by RF magnetron sputtering on RuO2/SiNx
Ferroelectrics, Vol.353, pp.233-241
2007
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