Porous silicon membranes for gas-sensor applications

Journal article

Peer reviewed

T. Taliercio, M. Dilhan, E. Massone, A. Foucaran, Anne Marie Gué, T. Bretagnon, B. Fraisse and L. Montes

Sensors and Actuators A: Physical , Vol.46(1-3), pp.43 - 46

01/1995

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Title: Porous silicon membranes for gas-sensor applications
Creators - without role: T. Taliercio - Centre National de la Recherche Scientifique
M. Dilhan
E. Massone - Université de Montpellier
A. Foucaran - Université de Montpellier
Anne Marie Gué - Centre National de la Recherche Scientifique
T. Bretagnon - Université de Montpellier
B. Fraisse - Université de Montpellier
L. Montes - Université de Montpellier
Publication Details: Sensors and Actuators A: Physical , Vol.46(1-3), pp.43 - 46
Identifiers: 9939410209311
Academic Unit: Université de Montpellier
Language: English
Resource Type: Journal article
Local Fields: hal-01788492