- Titre
- "Porosimetry measurements on low k dielectric constant thin layers by coupling spectroscopic ellipsometry and solvent adsorption-desorption"
- Créateurs - sans rôle
- P. Revol - Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies AlternativesD. Perret - Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies AlternativesF. Bertin - Direction de la Recherche TechnologiqueF. Fusalba - Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies AlternativesV. Rouessac - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMA. Chabli - CEA GrenobleG. Passemard - Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies AlternativesA. Ayral - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEM
- Détails de publication
- Journal of Porous Materials, Vol.12, pp.113-121
- Identifiants
- 99151221309311
- Unité académique
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Journal article
- Champs locaux
- hal-00077994
Article de revue
"Porosimetry measurements on low k dielectric constant thin layers by coupling spectroscopic ellipsometry and solvent adsorption-desorption"
Journal of Porous Materials, Vol.12, pp.113-121
2005
Indicateurs
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