Micromachined thermal accelerometer

Journal article

Frédérick Mailly, Alain Giani, A. Martinez, R. Bonnot, Pierre Temple-Boyer and Alexandre Boyer

Sensors and Actuators, Vol.103(3), pp.359-363

15/02/2003

Abstract

Thermal sensor

Accelerometer

Tilt measurement

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Title: Micromachined thermal accelerometer
Creators - without role: Frédérick Mailly - Université de Montpellier
Alain Giani - Université de Montpellier
A. Martinez - Centre National de la Recherche Scientifique
R. Bonnot - Université de Montpellier
Pierre Temple-Boyer - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes
Alexandre Boyer - Université de Montpellier
Publication Details: Sensors and Actuators, Vol.103(3), pp.359-363
Identifiers: 9941252109311
Academic Unit: Université de Montpellier
Language: English
Resource Type: Journal article
Local Fields: hal-00327192