- Title
- Inorganic to organic crossover in thin films deposited from O2/TEOS plasmas
- Creators - without role
- C Vallée - Nantes UniversitéA Goullet - Institut des Matériaux Jean RouxelA Granier - Institut des Matériaux Jean RouxelArie van Der Lee - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMJ Durand - École Nationale Supérieure de Chimie de MontpellierC Marlière - École Nationale Supérieure de Chimie de Montpellier
- Publication Details
- Journal of Non-Crystalline Solids, Vol.272(2-3), pp.163-173
- Identifiers
- 9946212709311
- Academic Unit
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Language
- English
- Resource Type
- Journal article
- Local Fields
- hal-03684323
Journal article
Inorganic to organic crossover in thin films deposited from O2/TEOS plasmas
Journal of Non-Crystalline Solids, Vol.272(2-3), pp.163-173
08/2000
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