- Titre
- Impact of cavity shape on thermal accelerometer parameters
- Créateurs - sans rôle
- Valentin Toulme - Matériaux, Micro et NanodispositifsSoukaina Salk - Institut d'électronique de microélectronique et de nanotechnologieMarc Faucher - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520Philippe Combette - Institut d’Electronique et des SystèmesAlain Giani - Institut d’Electronique et des Systèmes
- Détails de publication
- Micro and Nano Engineering, Vol.29, p.100331
- Éditeur
- Elsevier
- Identifiants
- 99162642209311
- Unité académique
- Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Langue
- English
- Type de ressource
- Journal article
Article de revue
Impact of cavity shape on thermal accelerometer parameters
Micro and Nano Engineering, Vol.29, p.100331
12/2025
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