Fabrication of quartz microcylinders by laser interference lithography for angular optical tweezers

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Zhanna Santybayeva, Afaf Meghit, Rudy Desgarceaux, Roland Teissier, Frederic Pichot, Charles de Marin, Benoit Charlot and Francesco Pedaci

Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Vol.15(3)

01/07/2016

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https://doi.org/10.1117/1.JMM.15.3.034507View

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Title: Fabrication of quartz microcylinders by laser interference lithography for angular optical tweezers
Creators - without role: Zhanna Santybayeva - Université de Montpellier, Centre de Biologie Structurale - CBS
Afaf Meghit - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Rudy Desgarceaux - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Roland Teissier - Université de Montpellier
Frederic Pichot - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Charles de Marin - Université de Montpellier, Centre de Biologie Structurale - CBS
Benoit Charlot - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Francesco Pedaci - Université de Montpellier, Centre de Biologie Structurale - CBS
Publication Details: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Vol.15(3)
Identifiers: 9942718609311
Academic Unit: Institut d'Electronique et des Systèmes - IES; Centre de Biologie Structurale - CBS
Language: English
Resource Type: Journal article
Local Fields: hal-02067178