Fabrication of SOI photonic crystal slabs by soft UV-nanoimprint lithography

Article de revue

Avec comité de lecture

Michele Belotti, Jeremi Torres, Emmanuel Roy, Anne Pépin, Dario Gerace, Lucio Andreani, Matteo Galli et Yong Chen

Microelectronic engineering, Vol.83(4-9), pp.1773-1777

01/04/2006

Résumé

Electronics

Engineering Sciences

1 Consultations de la notice

Titre: Fabrication of SOI photonic crystal slabs by soft UV-nanoimprint lithography
Créateurs - sans rôle: Michele Belotti
Jeremi Torres - Laboratoire de photonique et de nanostructures
Emmanuel Roy - Centre local de développement des Collines-de-l'Outaouai, Cantley
Anne Pépin
Dario Gerace - CNISM and Dipartimento di Fisica 'A. Volta'
Lucio Andreani
Matteo Galli
Yong Chen - Université Paris Sciences et Lettres
Détails de publication: Microelectronic engineering, Vol.83(4-9), pp.1773-1777
Éditeur: Elsevier
Nombre de pages: 5
Identifiants: 99147401009311
Unité académique: Laboratoire Charles Coulomb - L2C
Langue: English
Type de ressource: Journal article