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Détermination de la résistance d'une couche sur substrat non isolant
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Détermination de la résistance d'une couche sur substrat non isolant

H. Luquet, L. Gouskov, M. Perotin, M. H. Archidi, F. Pascal and G. Bougnot
Revue de Physique Appliquée, Vol.25(6), pp.475-479
1990

Abstract

conducting substrates GaSb gallium compounds epitaxial layers ohmic type conduction semiconductors layer resistance implanted layers generation recombination conduction III V semiconductors semiconductor epitaxial layers surface conductivity
Dans le but de caractériser des couches d'antimoniures épitaxiées ou implantées mal isolées d'un substrat conducteur, nous avons été amenés à utiliser une méthode simple de détermination de la résistance de couche. Cette méthode est décrite ainsi que sa limite de validité en supposant une conduction ohmique ou régie par la génération-recombinaison entre la couche et le substrat.
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