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Dopage par As de couches épitaxiées de Ge sur substrats Ge et GaAs
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Dopage par As de couches épitaxiées de Ge sur substrats Ge et GaAs

D. Etienne, N. Achargui and G. Bougnot
Revue de Physique Appliquée, Vol.21(5), pp.299-303
1986

Abstract

semiconductor epitaxial layers semiconductor doping germanium chemical vapour transport Ge:As epitaxial semiconductors arsenic elemental semiconductors disproportionation reaction
Des dépôts de Ge dopés As sont obtenus par transport en phase vapeur par la réaction de disproportionnation : 2 GeI2 = Ge + GeI4. Ils sont de type n et leurs caractéristiques électriques : p, μH, n sont étudiés en fonction de la température de substrat et du débit de AsH3. L'incorporation de As dans la couche est étudiée thermodynamiquement.
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