- Title
- Design of CMOS MEMS Based on Mechanical Resonators Using a RF Simulation Approach
- Creators - without role
- Laurent Latorre - Laboratoire d'Informatique, de Robotique et de Microélectronique de MontpellierVincent Beroulle - Université de Montpellier, Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Mtp - LIRMMPascal Nouet - Laboratoire d'Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
- Publication Details
- IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems, Vol.23(6), pp.962-967
- Identifiers
- 9934748009311
- Academic Unit
- Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Mtp - LIRMM
- Language
- English
- Resource Type
- Journal article
- Local Fields
- lirmm-00108542
Journal article
Design of CMOS MEMS Based on Mechanical Resonators Using a RF Simulation Approach
IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems, Vol.23(6), pp.962-967
2004
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