Chemical bonding analysis of a-SiC : H films by Raman spectroscopy

Journal article

Peer reviewed

A. Chehaidar, Robert Carles, A. Zwick, C. Meunier, B. Cros and J. Durand

Journal of Non-Crystalline Solids, Vol.169, pp.37-46

1994

Abstract

a-SiH

a-C:H

a-SiC:H

Raman spectroscopy

PECVD

url

Find in HALView

1 Record Views

Title: Chemical bonding analysis of a-SiC : H films by Raman spectroscopy
Creators - without role: A. Chehaidar - Université Toulouse III - Paul Sabatier
Robert Carles - Centre National de la Recherche Scientifique
A. Zwick - Université Toulouse III - Paul Sabatier
C. Meunier - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEM
B. Cros - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEM
J. Durand - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEM
Publication Details: Journal of Non-Crystalline Solids, Vol.169, pp.37-46
Identifiers: 9945698409311
Academic Unit: Institut Européen des Membranes - IEM
Language: English
Resource Type: Journal article
Local Fields: hal-00097896