- Titre
- "Characterization of the impact of plasma treatments and wet cleaning on a porous low k material"
- Créateurs - sans rôle
- W. Puyrenier - STMicroelectronicsV. Rouessac - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEML. Broussous - STMicroelectronicsD. Rebiscoul - CEA GrenobleA. Ayral - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEM
- Détails de publication
- Microelectronic Engineering, Vol.83 (11-12), pp.2314-2318
- Identifiants
- 99151748409311
- Unité académique
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Journal article
- Champs locaux
- hal-00128556
Article de revue
"Characterization of the impact of plasma treatments and wet cleaning on a porous low k material"
Microelectronic Engineering, Vol.83 (11-12), pp.2314-2318
2006
Indicateurs
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