Characterization of organosilicon hybrid PECVD membranes

Article de revue

S Roualdes, A Van der Lee, J Sanchez et J Durand

Materials for Advanced Metallization (MAM), European Workshop, Vol.54(294), pp.491-502

01/01/1999

Résumé

Materials Science

Materials Science, Coatings & Films

Physical Sciences

Physics

Physics, Applied

Science & Technology

Technology

1 Consultations de la notice

Titre: Characterization of organosilicon hybrid PECVD membranes
Créateurs - sans rôle: S Roualdes
A Van der Lee
J Sanchez
J Durand
Détails de publication: Materials for Advanced Metallization (MAM), European Workshop, Vol.54(294), pp.491-502
Éditeur: Soc Francaise Du Vid
Nombre de pages: 12
Identifiants: 99139415009311
Unité académique: Institut Européen des Membranes - IEM
Langue: French
Type de ressource: Journal article