- Title
- Capacitive silicon micro-electromechanical resonator for enhanced photoacoustic spectroscopy
- Creators - without role
- Kaim Chamassi - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESWioletta Trzpil - Université de MontpellierRichard Arinero - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESRoman Rousseau - Université de MontpellierAurore Vicet - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IESMichaël Bahriz - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Publication Details
- Applied Physics Letters, Vol.115(8)
- Identifiers
- 9945949009311
- Academic Unit
- Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
- Language
- English
- Resource Type
- Journal article
- Local Fields
- hal-02441779
Journal article
Capacitive silicon micro-electromechanical resonator for enhanced photoacoustic spectroscopy
Applied Physics Letters, Vol.115(8)
19/08/2019
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