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Advances in Liquid Phase Conversion of (100) and (111) Oriented Si Wafers into Self-Standing 3C-SiC
Article de revue   Avec comité de lecture

Advances in Liquid Phase Conversion of (100) and (111) Oriented Si Wafers into Self-Standing 3C-SiC

Hervé Peyre, Jean Camassel, Marcin Zielinski, Sandrine Juillaguet, Thierry Chassagne, André Leycuras et Marc Portail
Materials science forum, Vol.615-617, pp.49-52
01/01/2009

Résumé

3C-SiC Liquid Phase Epitaxy (LPE) Bulk Si Wafer Conversion

Indicateurs

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