Achieving on chip micro-supercapacitors based on CrN deposited by bipolar magnetron sputtering at glancing angle

Emile Haye; Amine Achour; Abdelouadoud Guerra; Fatsah Moulaï; Toufik Hadjersi; Rabah Boukherroub; Adriano Panepinto; Thierry Brousse; Jean-Jacques Pireaux; Stephane Lucas

doi:10.1016/j.electacta.2019.134890

Retour

Achieving on chip micro-supercapacitors based on CrN deposited by bipolar magnetron sputtering at glancing angle

Article de revue

Avec comité de lecture

Achieving on chip micro-supercapacitors based on CrN deposited by bipolar magnetron sputtering at glancing angle

Emile Haye, Amine Achour, Abdelouadoud Guerra, Fatsah Moulaï, Toufik Hadjersi, Rabah Boukherroub, Adriano Panepinto, Thierry Brousse, Jean-Jacques Pireaux et Stephane Lucas

Electrochimica Acta, Vol.324

11/2019

DOI: https://doi.org/10.1016/j.electacta.2019.134890

Fichiers et liens (1)

url

Find in HALAfficher

Indicateurs

1 Consultations de la notice

Détails

Titre: Achieving on chip micro-supercapacitors based on CrN deposited by bipolar magnetron sputtering at glancing angle
Créateurs - sans rôle: Emile Haye - Namur Institute of Structured Matter
Amine Achour - Namur Institute of Structured Matter
Abdelouadoud Guerra - Institut d'électronique de microélectronique et de nanotechnologie
Fatsah Moulaï - Centre de Recherche en Technologie des Semi-conducteurs pour l’Energétique
Toufik Hadjersi - Centre de Recherche en Technologie des Semi-conducteurs pour l’Energétique
Rabah Boukherroub - Institut d'électronique de microélectronique et de nanotechnologie
Adriano Panepinto - University of Mons
Thierry Brousse - Réseau sur le Stockage Electrochimique de l'énergie
Jean-Jacques Pireaux - Namur Institute of Structured Matter
Stephane Lucas - University of Namur
Détails de publication: Electrochimica Acta, Vol.324
Identifiants: 99151662409311
Unité académique: Université de Montpellier
Langue: English
Type de ressource: Journal article
Champs locaux: hal-02333258