- Title
- AES and HRTEM study of an a-SiNx: H/W/WSix/a-SiNx: H multilayer structure realized by PEVCD
- Creators - without role
- C. Monteil - École Nationale Supérieure de Chimie de MontpellierJ. Durand - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMR. Berjoan - Science et Ingénierie des Matériaux et ProcédésB. Cros - Université de technologie de belfort-montbéliardJ. Martinez - Centre National de la Recherche Scientifique
- Publication Details
- Surface and Interface Analysis, Vol.21(12), pp.823 - 829
- Identifiers
- 9935197109311
- Academic Unit
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Language
- English
- Resource Type
- Journal article
- Local Fields
- hal-01737457
Journal article
AES and HRTEM study of an a-SiNx: H/W/WSix/a-SiNx: H multilayer structure realized by PEVCD
Surface and Interface Analysis, Vol.21(12), pp.823 - 829
12/1994
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