Résumé
Les lasers à cascade interbandes (ICL) fournissent des sources pour la gamme spectrale du moyen infrarouge compris entre 3 et 6 µm particulièrement efficaces en termes de consommation d’énergie. Cette gamme spectrale est particulièrement intéressante pour la détection des gaz impliqués dans l’industrie pétrochimique, car des gaz tels que le méthane, l'éthane et le dioxyde de carbone présentent une forte absorption dans cette gamme de longueur d’onde. L'identification correcte d'un gaz présent dans un échantillon nécessite des lasers avec une émission monomode et une certaine accordabilité en longueur d’onde. L'amélioration de cette plage de réglage possible avec une source laser offre de nouvelles opportunités dans des applications liées à la spectroscopie. Une alternative à ce qui est actuellement disponible dans le commerce peut être réalisée grâce à l'utilisation de guides d'ondes à fente, qui peuvent être fabriqués en utilisant de la photolithographie conventionnelle, réduisant ainsi le coût de fabrication.Deux nouveaux types d'ICL ont été conçus, fabriqués, et étudiés dans le cadre de cette thèse : un ICL à fentes à section unique et un ICL à fentes multiples accordé par Vernier (SVT). Une étude approfondie des étapes de fabrication et en particulier de la gravure sèche a été réalisée pour obtenir une gravure verticale des matériaux constituants les ICLs. Les premiers ICLs à fentes ont été fabriqués démontrant un e une émission monomode en régime continu à température ambiante avec une émission proche de 3.4 µm. Sur cette base, l'ICL SVT a été fabriqué pour étendre la plage d'accord et démontrer que l'accord par effet Vernier pouvait être mis en œuvre sur ce système de matériaux.