Membranes a-SiCxNy:H déposées par CVD-plasma. Tamis moléculaire pour la perméation de l'hélium

Dissertation

Open access

Wassim Kafrouni

Doctoral, ED459

12/06/2009

Abstract

gas permeation

molecular sieving

PECVD

a-SiCxNy:H

membranes

perméation gazeuse

tamisage moléculaire

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Title: Membranes a-SiCxNy:H déposées par CVD-plasma. Tamis moléculaire pour la perméation de l'hélium
Creators - without role: Wassim Kafrouni - 33UDM_INST___HR10C00606
Contributors - without role: Vincent ROUESSAC
Philippe MIELE, rapporteur
Constantin VAHLAS, rapporteur
Laurent THOMAS, examinateur
Anne JULBE, co-directrice de thèse
Jean DURAND, examinateur
Vincent ROUESSAC, directeur de thèse
Awarding Institution: ED459; Doctoral
Theses and Dissertations: Doctoral, ED459
Identifiers: 9944739709311
Academic Unit: Institut Européen des Membranes - IEM
Language: French
Resource Type: Dissertation
Local Fields: tel-00466225