Résumé
Ce manuscrit de thèse présente les recherches et les applications potentielles en tant que plate-forme (bio) capteur des couches minces conformes de ZnO et / ou Al2O3 / ZnO nanolaminates, déposées par dépôt de couche atomique (ALD) sur les différents substrats. Tout d'abord, une étude des propriétés optiques des films minces ZnO (20 et 50 nm) déposés par la technique ALD sur les grandes zones de nanofils de silicium ordonné (SiNW), réalisée en combinant la lithographie à la nanosphère et la gravure chimique à base de métal, a été réalisée. Ces méthodes ont permis la morphologie et le contrôle organisationnel des SiNW sur une grande surface. L'étude détaillée des propriétés structurales et optiques de l'hétérostructure SiNWs / ZnO à noyau-coquille a été réalisée en utilisant respectivement la spectroscopie XRD, SEM, de réflectance et de photoluminescence. L'intégration des tableaux SiNWs en tant que noyau et ZnO comme coque peut avoir un impact important sur le développement d'éléments de détection avec des propriétés améliorées. Dans les recherches ultérieures, des films ZnO formés par ALD en tant que plate-forme de biocapteur optique pour la détection des protéines de type A du virus Grapevine (antigènes GVA) ont été représentés. La détection de l'antigène GVA a été effectuée en utilisant les changements dans le comportement de la bande PL liée à la GVA. La sélectivité du biocapteur a été prouvée. La possibilité de détecter les antigènes GVA sans étiquettes supplémentaires a été démontrée. Ainsi, on a développé un biosensor à base de photoluminescence à base de photoluminescence libre pour les antigènes GVA. Une autre partie de notre étude est un contrôle spécifique de l'ancrage des protéines par le développement d'une surface multifonctionnelle avec une grande gamme de sphères de polystyrène (PSS), produite par la lithographie de nanosphère et bloquant davantage l'adsorption non spécifique des protéines à la surface du PSS par SAM de PEG. La microscopie d'épifluorescence a été utilisée pour confirmer qu'après l'immersion de l'échantillon sur la protéine cible (avidine et anti-avidine), ces dernières sont spécifiquement situées sur une sphère de polystyrène. Ces résultats sont significatifs pour l'exploration de dispositifs basés sur un nanoarray à grande échelle de sphères de PS et peuvent être utilisés pour la détection de protéines cibles ou simplement pour structurer une surface avec des protéines spécifiques. Notre recherche comprend également l'ajustement des propriétés structurelles et l'amélioration des propriétés électroniques et optiques des nanolaminés 1D PAN ZnO / Al2O3 conçus par dépôt de couche atomique (ALD) et électrospinning. Les propriétés structurelles et optiques de Al2O3 / ZnO déterminées à partir des analyses XPS, TEM, FTIR, XRD et PL. L'amélioration des propriétés électroniques et optiques permettrait l'application dans différents domaines de tels capteurs et biosensors.