- Titre
- Visible light laser irradiation: A tool for implantation damage reduction
- Créateurs - sans rôle
- Jean Camassel - Groupe d'étude des semiconducteursHervé Peyre - Groupe d'étude des semiconducteursD. J. Brink - University of PretoriaMarcin Zielinski - Groupe d'étude des semiconducteursServane Blanqué - Groupe d'étude des semiconducteursN. Mestres - Institut de Ciència de Materials de BarcelonaPhilippe Godignon - Microelectronica (Romania)
- Détails de publication
- Materials science forum, Vol.457-460, pp.941-944
- Colloque
- 10th International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM2003) (Lyon, France, 05/10/2003–10/10/2003)
- Identifiants
- 9941314509311
- Unité académique
- Université de Montpellier
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-00389896
Acte de colloque
Visible light laser irradiation: A tool for implantation damage reduction
Materials science forum, Vol.457-460, pp.941-944
10th International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM2003) (Lyon, France, 05/10/2003–10/10/2003)
2004
Indicateurs
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