- Titre
- Thermal stability of Ta-based diffusion barriers
- Créateurs - sans rôle
- J. Nazon - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGMB. Fraisse - Laboratoire Structures, Propriétés et Modélisation des SolidesM.H. BergerJean-Claude Tedenac - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGMNicole Fréty - Université de Montpellier, Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGM
- Colloque
- TMS 2009 (The Minerals, Metals & Materials Society), 138th Annual Meeting (San Francisco, United States, 15/02/2009–15/02/2009)
- Identifiants
- 9937883809311
- Unité académique
- Institut Charles Gerhardt Montpellier - ICGM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-00351962
Acte de colloque
Thermal stability of Ta-based diffusion barriers
TMS 2009 (The Minerals, Metals & Materials Society), 138th Annual Meeting (San Francisco, United States, 15/02/2009–15/02/2009)
Indicateurs
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