- Titre
- Synthesis and Mechanical Behaviour of Al2O3/ZnO Multilayers Deposited by Atomic Layer Deposition
- Créateurs - sans rôle
- Mikhael Bechelany - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMR. RaghavanD. FreyS. SchmittJ. WhitbyF. OestlundMichler Johann - Swiss Federal Laboratories for Materials Science and TechnologyIvo Utke
- Colloque
- EuroCVD 18 (Cork, Ireland, 04/09/2011)
- Identifiants
- 9945939509311
- Unité académique
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-01704674
Acte de colloque
Synthesis and Mechanical Behaviour of Al2O3/ZnO Multilayers Deposited by Atomic Layer Deposition
EuroCVD 18 (Cork, Ireland, 04/09/2011)
Indicateurs
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