- Titre
- Sputtering R.F magnetron applied to the deposition of ZnO thin films for sensors and biosensors fabrication
- Créateurs - sans rôle
- R. Ondo Ndong - Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de MontpellierA. Boyer - Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de MontpellierG. Ferblantier - Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de MontpellierA. Foucaran - Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de Montpellier
- Colloque
- VIth Workshop on Sensors and Biosensors (Toulouse, France, 2001)
- Identifiants
- 99132042409311
- Unité académique
- Université de Montpellier
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-01795622
Acte de colloque
Sputtering R.F magnetron applied to the deposition of ZnO thin films for sensors and biosensors fabrication
VIth Workshop on Sensors and Biosensors (Toulouse, France, 2001)
Indicateurs
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