- Titre
- Silicon on Insulator Temperature and Pressure Sensor for MEMS Smart Packaging
- Créateurs - sans rôle
- Elie Lefeuvre - Institut d'Electronique FondamentaleEmile Martincic - Institut d'Electronique FondamentaleEdmond Woytasik - Institut d'Electronique FondamentaleXavier Leroux - Institut d'Electronique FondamentaleS. Edmond - Institut d'Electronique FondamentaleC. Pellet - Laboratoire de l'Intégration du Matériau au SystèmePascal Nouet - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniquesElisabeth Dufour-Gergam - Institut d'Electronique Fondamentale
- Détails de publication
- Proceedings of the Eurosensors XXIII Conference, Vol.Procedia Chemistry, Vol. 1, Issue 1, pp.782-785
- Colloque
- Proceedings of the Eurosensors XXIII Conference (France)
- Identifiants
- 9934436009311
- Unité académique
- Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier - LIRMM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- lirmm-00436120
Acte de colloque
Silicon on Insulator Temperature and Pressure Sensor for MEMS Smart Packaging
Proceedings of the Eurosensors XXIII Conference, Vol.Procedia Chemistry, Vol. 1, Issue 1, pp.782-785
Proceedings of the Eurosensors XXIII Conference (France)
08/2009
Indicateurs
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