- Titre
- Sensitivity of micromachined thermal accelerometer
- Créateurs - sans rôle
- Frédérick Mailly - Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de MontpellierA. Foucaran - Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de MontpellierAlain Giani - Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de MontpellierP. Combette - Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de MontpellierA. Boyer - Centre d'Electronique et de Micro-optoélectronique de Montpellier
- Colloque
- Journées Nationales du Réseau des Micros et Nanotechnologies (Lille, France, 2003)
- Identifiants
- 99131938709311
- Unité académique
- Université de Montpellier
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-01796869
Acte de colloque
Sensitivity of micromachined thermal accelerometer
Journées Nationales du Réseau des Micros et Nanotechnologies (Lille, France, 2003)
Indicateurs
1 Consultations de la notice