Résumé
Une expérience de réflectométrie champ proche à 60 GHz est proposée pour l'inspection des matériaux et des circuits. La sonde électrique est une antenne bow-tie obtenue à partir de découpes laser femto-seconde de feuilles de tungstène assemblées à l'extrémité d'un guide d'onde rectangulaire. Les mesures en champ proche montrent une résolution spatiale pouvant atteindre λ/130 à une distance sonde-échantillon de 5 µm. Les images de diverses métallisations sur silicium montrent également des intensités de champ proche quantitativement reliées à la conductivité des différents métaux.