- Titre
- "Precursors chemistry for ULK CVD"
- Créateurs - sans rôle
- V. Rouessac - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEM
- Colloque
- MAM2005 : Materials for Advanced Metallization - March 6-9, 2005 (Dresde, Germany, 2005)
- Identifiants
- 9946441909311
- Unité académique
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-00083070
Acte de colloque
"Precursors chemistry for ULK CVD"
MAM2005 : Materials for Advanced Metallization - March 6-9, 2005 (Dresde, Germany, 2005)
2005
Indicateurs
1 Consultations de la notice