- Titre
- Porous extreme low k (ELK) dielectrics using a PECVD porogen approach
- Créateurs - sans rôle
- Laurent Favennec - STMicroelectronics [Crolles]Vincent Jousseaume - Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies AlternativesV. Rouessac - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMFlorence Fusalba - STMicroelectronics [Crolles]Jean Durand - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMGérard Passemard - STMicroelectronics [Crolles]
- Colloque
- E-MRS 2004 Spring Meeting (Strasbourg, France, 24/05/2004)
- Identifiants
- 9942554809311
- Unité académique
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-01741536
Acte de colloque
Porous extreme low k (ELK) dielectrics using a PECVD porogen approach
E-MRS 2004 Spring Meeting (Strasbourg, France, 24/05/2004)
Indicateurs
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