- Titre
- Oral : "Ultra low-k PECVD porogen approach : matrix precursor comparison and porogen removal treatment study"
- Créateurs - sans rôle
- L. FavennecV. JousseaumeV. Rouessac - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMJ. Durand - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMG. Passemard
- Colloque
- MRS Meeting - March 28-April 1, 2005 (San Francisco, United States, 2005)
- Identifiants
- 9946558109311
- Unité académique
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-00083077
Acte de colloque
Oral : "Ultra low-k PECVD porogen approach : matrix precursor comparison and porogen removal treatment study"
MRS Meeting - March 28-April 1, 2005 (San Francisco, United States, 2005)
2005
Indicateurs
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