Observation of 3C zigzag faults in low-doped 4H-SiC epitaxial layers

Acte de colloque

Teddy Robert, Maya Marinova, Sandrine Juillaguet, Anne Henry, Efsthatios Polychroniadis et Jean Camassel

International workshop on 3C-SiC hetero-epitaxy (HeteroSiC '09) (France, 2009)

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Titre: Observation of 3C zigzag faults in low-doped 4H-SiC epitaxial layers
Créateurs - sans rôle: Teddy Robert - Groupe d'étude des semiconducteurs
Maya Marinova - Department of Physics [Thessaloniki]
Sandrine Juillaguet - Groupe d'étude des semiconducteurs
Anne Henry
Efsthatios Polychroniadis - Department of Physics [Thessaloniki]
Jean Camassel - Groupe d'étude des semiconducteurs
Colloque: International workshop on 3C-SiC hetero-epitaxy (HeteroSiC '09) (France, 2009)
Identifiants: 9936576309311
Unité académique: Université de Montpellier
Langue: English
Type de ressource: Conference proceeding
Champs locaux: hal-00390779