Mismatch Measure Improvement Using Kelvin Test Structures in Transistor Pair Configuration in Sub-Hundred Nanometer MOSFET Technology

Acte de colloque

C. M. Mezzomo, M. Marin, C. Leyris et G. Ghibaudo

Proceedings of ICMTS, ISBN 978-1-4244-4259-1, IEEE, pp.62-67

IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (Oxnard, United States, 02/04/2009–02/04/2009)

30/03/2009

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Titre: Mismatch Measure Improvement Using Kelvin Test Structures in Transistor Pair Configuration in Sub-Hundred Nanometer MOSFET Technology
Créateurs - sans rôle: C. M. Mezzomo
M. Marin
C. Leyris - Université de Montpellier, Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
G. Ghibaudo - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique
Détails de publication: Proceedings of ICMTS, ISBN 978-1-4244-4259-1, IEEE, pp.62-67
Colloque: IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (Oxnard, United States, 02/04/2009–02/04/2009)
Identifiants: 9944431709311
Unité académique: Institut d'Electronique et des Systèmes - IES
Langue: English
Type de ressource: Conference proceeding
Champs locaux: hal-00603793