- Titre
- Mechanisms involved in the transformation of ppHMDSO films into SiO2-like by oxygen plasma treatment
- Créateurs - sans rôle
- G. Borvon - Institut des Matériaux Jean RouxelAngelique Bousquet - Institut des Matériaux Jean RouxelAntoine Goulet - Institut des Matériaux Jean RouxelAgnès Granier - Institut des Matériaux Jean RouxelArie van Der Lee - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEMV. Rouessac - Université de Montpellier, Institut Européen des Membranes - IEM
- Colloque
- International Colloquium on Plasma processes (CIP) (Antibes, France, 29/06/2003)
- Identifiants
- 9942476509311
- Unité académique
- Institut Européen des Membranes - IEM
- Langue
- English
- Type de ressource
- Conference proceeding
- Champs locaux
- hal-01741513
Acte de colloque
Mechanisms involved in the transformation of ppHMDSO films into SiO2-like by oxygen plasma treatment
International Colloquium on Plasma processes (CIP) (Antibes, France, 29/06/2003)
Indicateurs
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